化学阀在半导体设备的利用重要在输送各类的液体，，，，，如纯水，，，，， 氢氟酸，，，，，硫酸和氨水等。。。。。。。已经被宽泛使用在各类湿式造程，，，，，如硅片洗濯, CMP和刻蚀，，，，，为半导体造程设备中不成或缺的沉要零部件。。。。。。。

化学阀对阀体及使用零部件的干净度、耐侵蚀性、靠得住性及使用寿命等要求很高。。。。。。。而化学阀开发技术持久被国表所垄断，，，，，属于卡脖子工程，，，，，一方面产品交期长，，，，，另表一方面技术不成控。。。。。。。因而，，，，，若何将半导体化学隔阂阀国产化造成为一个沉要课题。。。。。。。这必要从资料，，，，，结构，，，，，流体力学和散热等为分歧领域做深刻的钻研探求解决。。。。。。。

化学阀开发挑战
资料：国内找不到相宜的高纯度等级的氟系高分子资料作阀体使用

阀零件资料的选配难度较高

结构设计
阀体和阀件设计密封性较差

变形的问题没有法子克服

加工
阀体收缩造成的尺寸变异
阀体内表表光洁度无法保障
膜片加工精度的管控

?

资料选择
化学气动阀零部件的资料

零部件	表观	资料
阀体		FEP,?PFA
气动壳体		PTFE,?PVDF,?PFA,?PP
弹簧		Stainless?steel?(PTFE?喷涂)
轴心		PP，，，，，PVDF
膜片		PTFE
阀座		PVDF，，，，，PTFE，，，，，PP

?

结构设计

?

将来工作
结合伙料，，，，，结构设计並搭配电脑仿真模拟的技术，，，，，科学化简直认结构和阀体加工前提，，，，，削减开发周期并达到预约技术设计指标。。。。。。。