化学阀在半导体设备的利用重要在输送各类的液体，，，，，，，，如纯水，，，，，，，， 氢氟酸，，，，，，，，硫酸和氨水等。。。。。。已经被宽泛使用在各类湿式造程，，，，，，，，如硅片洗濯, CMP和刻蚀，，，，，，，，为半导体造程设备中不成或缺的沉要零部件。。。。。。

化学阀对阀体及使用零部件的干净度、耐侵蚀性、靠得住性及使用寿命等要求很高。。。。。。而化学阀开发技术持久被国表所垄断，，，，，，，，属于卡脖子工程，，，，，，，，一方面产品交期长，，，，，，，，另表一方面技术不成控。。。。。。因而，，，，，，，，若何将半导体化学隔阂阀国产化造成为一个沉要课题。。。。。。这必要从资料，，，，，，，，结构，，，，，，，，流体力学和散热等为分歧领域做深刻的钻研探求解决。。。。。。

化学阀开发挑战
资料：国内找不到相宜的高纯度等级的氟系高分子资料作阀体使用

阀零件资料的选配难度较高

结构设计
阀体和阀件设计密封性较差

变形的问题没有法子克服

加工
阀体收缩造成的尺寸变异
阀体内表表光洁度无法保障
膜片加工精度的管控

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资料选择
化学气动阀零部件的资料

零部件	表观	资料
阀体		FEP,?PFA
气动壳体		PTFE,?PVDF,?PFA,?PP
弹簧		Stainless?steel?(PTFE?喷涂)
轴心		PP，，，，，，，，PVDF
膜片		PTFE
阀座		PVDF，，，，，，，，PTFE，，，，，，，，PP

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结构设计

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将来工作
结合伙料，，，，，，，，结构设计並搭配电脑仿真模拟的技术，，，，，，，，科学化简直认结构和阀体加工前提，，，，，，，，削减开发周期并达到预约技术设计指标。。。。。。